[实用新型]一种模块化设计的多功能热台机构有效
| 申请号： | 201520498837.3 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN204966448U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 刘劲松;张金志;谢旭波 | 申请（专利权）人： | 上海微松工业自动化有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/56 | 分类号： | H01L21/56 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 陈亮 |
| 地址： | 201114 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种模块化设计的多功能热台机构，包括运动基台(1)和设置在运动基台(1)上的治具(4)，治具(4)上放置与其相匹配的工件，运动基台(1)包括固定底板(11)、设置在固定底板(11)上并绕z轴作θ向旋转运动的θ轴滑台(12)，以及从下到上依次设置在θ轴滑台(12)上的第一搭载平台(13)、沿y轴运动的第二搭载平台(15)和沿x轴运动的第三搭载平台(18)；工作时，分别调节θ轴滑台(12)、第二搭载平台(15)和第三搭载平台(18)，将治具(4)移动至指定工位上，对治具上的工件进行加工。与现有技术相比，本实用新型具有一机多用、加工精度高、制造成本低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模块化 设计 多功能 机构 | ||
【主权项】：
一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，该热台机构包括运动基台(1)和设置在运动基台(1)上的治具(4)，所述的治具(4)上放置与其相匹配的工件，所述的运动基台(1)包括固定底板(11)、设置在固定底板(11)上并绕z轴作θ向旋转运动的θ轴滑台(12)，以及从下到上依次设置在θ轴滑台(12)上的第一搭载平台(13)、沿y轴运动的第二搭载平台(15)和沿x轴运动的第三搭载平台(18)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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