[实用新型]一种模块化设计的多功能热台机构有效

专利信息
申请号: 201520498837.3 申请日: 2015-07-10
公开(公告)号: CN204966448U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 刘劲松;张金志;谢旭波 申请(专利权)人: 上海微松工业自动化有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 陈亮
地址: 201114 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 模块化 设计 多功能 机构
【权利要求书】:

1.一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,该热台机构包括运动基台(1)和设置在运动基台(1)上的治具(4),所述的治具(4)上放置与其相匹配的工件,所述的运动基台(1)包括固定底板(11)、设置在固定底板(11)上并绕z轴作θ向旋转运动的θ轴滑台(12),以及从下到上依次设置在θ轴滑台(12)上的第一搭载平台(13)、沿y轴运动的第二搭载平台(15)和沿x轴运动的第三搭载平台(18)。

2.根据权利要求1所述的一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,所述的热台机构还包括平行度调整组件(2)和加热组件(3),所述的加热组件(3)和平行度调整组件(2)从上到下设置在运动基台(1)上,所述的加热组件(3)上设置治具(4)。

3.根据权利要求2所述的一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,所述的平行度调整组件(2)包括第一U型支座(21)、第二U型支座(25)和第一散热平台(28),所述的第二U型支座(25)开口向下设置在第一U型支座(21)内,第二U型支座(25)内设有转动块(22),该转动块(22)通过沿x轴向的第二转动轴(24)贯穿连接第二U型支座(25)的两侧壁,所述的转动块(22)还通过沿y轴向的第一转动轴(23)贯穿连接第一U型支座(21)的两侧壁,所述的第一散热平台(28)设置在第二U型支座(25)上,所述的第二U型支座(25)上还设有多个与第一U型支座(21)相连接的第三千分尺旋钮(27);

所述的加热组件(3)包括从下到上依次设置的第二散热平台(31)和第四搭载平台(33),所述的第二散热平台(31)设置在第一散热平台(28)上,所述的第四搭载平台(33)上设有热电偶(34);

工作时,分别调节θ轴滑台(12)、第二搭载平台(15)和第三搭载平台(18),将治具(4)移动至指定工位上,调节第三千分尺旋钮(27),使第二U型支座(25)分别绕第二转动轴(24)和第一转动轴(23)转动,从而调节治具(4)的平行度,开启热电偶(34)将治具(4)上工件加热至加工温度,然后开始对工件进行加工。

4.根据权利要求3所述的一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,所述的第一U型支座(21)和第二U型支座(25)的侧壁上均设有至少一个限位槽孔(211),该限位槽孔(211)上设有固定在转动块(22)上的限位销(29);

所述的第二U型支座(25)上设有多个第三L形连接块(26),所述的第三千分尺旋钮(27)设置在第三L形连接块(26)上,并与第一U型支座(21)相连接;

所述的第一散热平台(28)上设有多条第一散热凹槽(281),以及供散热冷空气进出的散热通道;

所述的第二散热平台(31)下表面设有多条第二散热凹槽(311),该第二散热凹槽(311)与第一散热凹槽(281)垂直设置,第二散热平台(31)上还设有第一温度传感器(32);

所述的第四搭载平台(33)上设有第二温度传感器(35),第四搭载平台(33)的四周还设有隔热板(36)。

5.根据权利要求3所述的一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,所述的第二散热平台(31)上开有连接真空装置的真空口,所述的第四搭载平台(33)上设有与真空口贯通的真空吸附槽,所述的治具(4)上设有与真空吸附槽相对应的真空吸附孔,工作时,开启真空装置,形成吸附真空,使得治具(4)上的工件被吸附定位。

6.根据权利要求5所述的一种模块化设计的多功能热台机构,其特征在于,所述的真空口由第一真空口(331)、第二真空口(333)和第三真空口(335)组成;所述的真空吸附槽由分别与第一真空口(331)、第二真空口(333)和第三真空口(335)贯通连接的第一真空吸附槽(332)、第二真空吸附槽(334)和第三真空吸附槽(336)组成;所述的真空吸附孔由分别与第一真空吸附槽(332)、第二真空吸附槽(334)和第三真空吸附槽(336)对应设置的第一真空吸附孔(41)、第二真空吸附孔(42)和第三真空吸附孔(43)组成。

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