[实用新型]一种能够保持真空度的溅射镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种能够保持真空度的溅射镀膜装置,所述阳极板设置在腔体的顶部，且设置在镀膜腔室内，所述靶材设置在阳极板的下侧，所磁铁线圈设置在镀膜腔室的两侧，所述真空进气控制装置设置在腔体的顶部上，所述分子泵通过管道与机械泵固定连接，所述机械泵通过管道与粗抽阀固定连接，所述控制器安装在腔体右侧的上部。该能够保持真空度的溅射镀膜装置，控制器能够控制真空控制装置，从而控制腔体的真空度，使之保持在10ⅹ10^-3以上，符合实际要求，因此能够满足实际工业发展的需求，提高产品质量和工作效率；该能够保持真空度的溅射镀膜装置具有操作简单，维护方便、易控制真空度，工作效率高等优点，具有市场推广价值。

主权项

一种能够保持真空度的溅射镀膜装置,包括溅射镀膜装置(1)、真空控制装置(11)、控制器(19)，其特征在于：所述溅射镀膜装置(1)由腔体(2)、镀膜腔室(3)、靶材(4)、传递辊(5)、挡板组件(6)、阴极板(7)、阳极板(8)、磁铁线圈(9)和电线(10)组成，所述镀膜腔室(3)设置在腔体(2)的内部，所述阴极板(7)设置在镀膜腔室(3)的底部，所述传递辊(5)和挡板组件(6)均设置在阴极板(7)的上侧，且挡板组件(6)间隔设置在传递辊(5)之间，所述阳极板(8)设置在腔体(2)的顶部，且设置在镀膜腔室(3)内，所述靶材(4)设置在阳极板(8)的下侧，所磁铁线圈(9)设置在镀膜腔室(3)的两侧，所述电线(10)分别与控制器(19)、阴极板(7)和阳极板(8)电性连接，所述真空控制装置(11)由真空进气控制装置(12)、充气阀(13)、板阀(14)、分子泵(15)、电磁阀(16)、机械泵(17)和粗抽阀(18)组成，所述真空进气控制装置(12)设置在腔体(2)的顶部上，所述充气阀(13)安装在腔体(2)左侧的上部，所述板阀(14)通过管道分别与腔体(2)底部的右侧和分子泵(15)固定连接，所述分子泵(15)通过管道与机械泵(17)固定连接，所述电磁阀(16)设置在分子泵(15)与机械泵(17)之间的管道上，所述机械泵(17)通过管道与粗抽阀(18)固定连接，所述粗抽阀(18)通过管道与腔体(2)的右侧固定连接，所述控制器(19)安装在腔体(2)右侧的上部。