[实用新型]用于准分子激光器的卤素气体补充装置

摘要

本实用新型公开了一种用于准分子激光器的卤素气体补充装置，准分子激光器的腔体具有进入管道和出气管道，卤素气体补充装置包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4)，储气室(4)分别与出气管道、冷凝器(1)、氧气提供装置(2)通过阀门连接。氧气提供装置(2)用于向储气室(4)提供氧气；储气室(4)用于使氧气和来自腔体的工作气体充分反应生成反应气体；冷凝器(1)对反应气体进行制冷，由此除杂而输出未被冷凝的气体，压缩机(3)抽取所述冷凝器(4)中未被冷凝的气体并输送到腔体中。本实用新型可以有效的提高工作气体的寿命，同时在除杂过程中不会由于添加其它气体而使输出能量下降。

主权项

一种卤素气体补充装置，用于为准分子激光器补充卤素气体，所述准分子激光器包括腔体，该腔体内的工作气体为稀有气体、卤素气体及缓冲气体，且腔体具有进入管道和出气管道，其特征在于：所述卤素气体补充装置包括冷凝器(1)、氧气提供装置(2)、压缩机(3)和储气室(4)，所述储气室(4)分别与所述出气管道、冷凝器(1)、氧气提供装置(2)连接；所述氧气提供装置(2)用于向所述储气室(4)提供氧气；所述储气室(4)具有一定的容积，用于容纳由所述氧气提供装置(2)提供的氧气和来自所述腔体的工作气体，并使该氧气和该工作气体充分反应，生成反应气体；所述冷凝器(1)内的温度为‑80℃至‑120℃，用于对所述反应气体进行制冷，输出未被冷凝的气体；所述压缩机(3)用于抽取所述冷凝器(4)中未被冷凝的气体并输送到所述腔体中。