[实用新型]全自动真空热蒸发装置有效
| 申请号： | 201520394941.8 | 申请日： | 2015-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN204918741U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈巧珍 | 申请（专利权）人： | 陈巧珍 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350211 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全自动真空热蒸发装置，主要包括真空蒸镀室(1)、分子泵(2)、机械泵(3)、计算机(9)和氮气罐(10)，所述真空蒸镀室(1)分别通过管道与分子泵(2)和机械泵(3)连接，分子泵(2)通过管道和机械泵(3)连接，所述氮气罐(10)分别连接真空蒸镀室(1)和计算机(9)，计算机(9)还连接有主控器(11)。本实用新型提供的全自动真空热蒸发装置通过巧妙的设计，提供了一种非常高效安全的操作系统，能够极大地提高生产器件的工作效率，并且大大降低产品的次品率，操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 全自动 真空 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述真空系统主要包括真空蒸镀室(1)、分子泵(2)、机械泵(3)、计算机(9)和氮气罐(10)，所述真空蒸镀室(1)分别通过管道与分子泵(2)和机械泵(3)连接，分子泵(2)通过管道和机械泵(3)连接，所述氮气罐(10)分别连接真空蒸镀室(1)和计算机(9)，计算机(9)还连接有主控器(11)。
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