[实用新型]全自动真空热蒸发装置

权利要求书

1.一种全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述真空系统主要包括真空蒸镀室(1)、分子泵(2)、机械泵(3)、计算机(9)和氮气罐(10)，所述真空蒸镀室(1)分别通过管道与分子泵(2)和机械泵(3)连接，分子泵(2)通过管道和机械泵(3)连接，所述氮气罐(10)分别连接真空蒸镀室(1)和计算机(9)，计算机(9)还连接有主控器(11)。

2.根据权利要求1所述的全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述真空蒸镀室(1)和分子泵(2)之间的连接管道中间设置有闸板阀(4)，分子泵(2)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有挡板阀(5)，真空蒸镀室(1)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有旁抽阀(6)。

3.根据权利要求2所述的全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述机械泵(3)和真空蒸镀室(1)以及分子泵(2)的两部分连接管道互相交汇。

4.根据权利要求3所述的全自动真空热蒸发装置，其特征在于：在管道的交汇点和机械泵(3)之间设置有热偶(8)，真空蒸镀室(1)的一端设置有电离(7)。

5.根据权利要求3所述的全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述挡板阀(5)设置在管道的交汇点和分子泵(2)之间。

6.根据权利要求1-5之一所述的全自动真空热蒸发装置，其特征在于：所述主控器(11)分别与分子泵(2)和机械泵(3)连接。