[实用新型]基板夹持器及其应用的加工设备

摘要

本实用新型涉及一种基板夹持器及其应用的加工设备，该基板夹持器包括：一器体，其内部形成有一容置舱，该器体的一端形成连通该容置舱的一槽形夹口；一连杆组，该连杆组活动的配置于该容置舱内，该连杆组包含有一压杆及一拉杆，该压杆与拉杆之间至少枢接有一连动臂；及一摆动式的臂爪，该臂爪配置于该容置舱内，该臂爪的两端分别形成一枢接部及一爪部，该枢接部及爪部之间具有一爪臂，该枢接部轴接于该器体的该容置舱内，该爪臂并枢接该拉杆；其中，该压杆具有一压杆轴线，该压杆接受压杆轴线的拘束而能往复直线移动，该压杆并依序连动该连动臂、拉杆及臂爪，进而带动该爪部活动的显露于夹口中夹持及释放基板。本实用新型以一种直线机动路径作为夹具施力端的移动轨迹。

主权项

一种基板夹持器，其特征在于，包括：一器体，其内部形成有一容置舱，该器体的一端形成连通该容置舱的一槽形夹口；一连杆组，该连杆组活动的配置于该容置舱内，该连杆组包含有一压杆及一拉杆，该压杆与拉杆之间至少枢接有一连动臂；及一摆动式的臂爪，该臂爪配置于该容置舱内，该臂爪的两端分别形成一枢接部及一爪部，该枢接部及爪部之间具有一爪臂，该枢接部轴接于该器体的该容置舱内，该爪臂并枢接该拉杆；其中，该压杆具有一压杆轴线，该压杆接受压杆轴线的拘束而能往复直线移动，该压杆并依序连动该连动臂、拉杆及臂爪，进而带动该爪部活动的显露于夹口中夹持及释放基板。