[实用新型]硅片托架输送轨道

摘要

本实用新型提供一种硅片托架输送轨道，包括轨道架、滑动设置于轨道架上的硅片托架，轨道架上开设有U形行走槽，硅片托架的底部设置有两个行走块，行走块的相对外侧开设有滑槽，U形行走槽的两侧分别设置有若干转动滚轮，转动滚轮与滑槽相配合，U形行走槽的弧形拐角处分别设置有输送带，输送带与硅片托架的底面相配合，通过自动化输送轨道自动对硅片托架进行输送，提高生产效率，降低劳动强度，节省人工成本。

主权项

硅片托架输送轨道，其特征在于：包括轨道架、滑动设置于所述轨道架上的硅片托架，所述轨道架上开设有U形行走槽，所述硅片托架的底部设置有两个行走块，所述行走块的相对外侧开设有滑槽，所述U形行走槽的两侧分别设置有若干转动滚轮，所述转动滚轮与所述滑槽相配合，所述U形行走槽的弧形拐角处分别设置有输送带，所述输送带与所述硅片托架的底面相配合。