[实用新型]硅片托架输送轨道有效

专利信息
申请号: 201520356880.6 申请日: 2015-05-29
公开(公告)号: CN204777328U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 叶文兰 申请(专利权)人: 中建材浚鑫科技股份有限公司
主分类号: B65G35/06 分类号: B65G35/06
代理公司: 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 代理人: 王明亮
地址: 214400 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅片 托架 输送 轨道
【权利要求书】:

1.硅片托架输送轨道,其特征在于:包括轨道架、滑动设置于所述轨道架上的硅片托架,所述轨道架上开设有U形行走槽,所述硅片托架的底部设置有两个行走块,所述行走块的相对外侧开设有滑槽,所述U形行走槽的两侧分别设置有若干转动滚轮,所述转动滚轮与所述滑槽相配合,所述U形行走槽的弧形拐角处分别设置有输送带,所述输送带与所述硅片托架的底面相配合。

2.根据权利要求1所述的硅片托架输送轨道,其特征在于:所述硅片托架的底部设置有行走轮,所述行走轮位于两个所述行走块的外侧。

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