[实用新型]环形光源干涉仪

摘要

本实用新型涉及一种环形光源干涉仪，主要包括激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)，按照激光器(1)的激光方向依次设置激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)。本实用新型提供的环形光源干涉仪运用了环形光源技术，可进行波纹抑制，消除了因干涉腔内存在细小颗粒所引起的寄生条纹，提高了干涉仪的测量精度。

主权项

一种环形光源干涉仪，其特征在于：所述干涉仪主要包括激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)，按照激光器(1)的激光方向依次设置激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)。