[实用新型]环形光源干涉仪

权利要求书

1.一种环形光源干涉仪，其特征在于：所述干涉仪主要包括激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)，按照激光器(1)的激光方向依次设置激光器(1)、全息光学器(2)、会聚透镜(3)、空间滤波器(4)、毛玻璃(5)、分束器(6)、准直镜(7)和反射镜(9)。

2.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于：待测镜(8)设置在准直镜(7)和反射镜(9)之间。

3.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于：所述干涉仪还包括成像物镜(10)和CCD(11)，所述成像物镜(10)的法线方向与激光器(1)的激光方向垂直，成像物镜(10)与分束器(6)对应平行设置，CCD(11)设置在成像物镜(10)的后面。

4.根据权利要求1所述的环形光源干涉仪，其特征在于：所述全息光学器(2)设置会聚透镜(3)的前焦平面上，所述空间滤波器(4)设置在会聚透镜(3)的后焦平面上。

5.根据权利要求1-4之一所述的环形光源干涉仪，其特征在于：所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，连接有一电机(12)。