[实用新型]热释电焦平面阵列器有效
申请号: | 201520257319.2 | 申请日: | 2015-04-21 |
公开(公告)号: | CN205300770U | 公开(公告)日: | 2016-06-08 |
发明(设计)人: | 刘晓岚 | 申请(专利权)人: | 刘晓岚 |
主分类号: | G01J5/02 | 分类号: | G01J5/02;G01J5/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350205 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种热释电焦平面阵列器,热释电焦平面阵列器主要包括底部的集成电路(1)、集成电路(1)上方的多个热敏感元件(2)以及热敏感元件(2)上方的红外吸收区和共用电极(4),其中所述红外吸收区和共用电极(4)由上层的半透明晶金属(5)、中间的红外吸收层(6)和底层的反射金属层(7)构成。本实用新型提供的热释电焦平面阵列器兼容了焦平面阵列与硅工艺,探测器单元与基底之间设置了隔离装置,金属接触和背面接触有效地进行了热隔离,探测灵敏度高。 | ||
搜索关键词: | 热释电焦 平面 阵列 | ||
【主权项】:
一种热释电焦平面阵列器,其特征在于:所述热释电焦平面阵列器主要包括底部的集成电路(1)、集成电路(1)上方的多个热敏感元件(2)以及热敏感元件(2)上方的红外吸收区和共用电极(4),其中所述红外吸收区和共用电极(4)由上层的半透明晶金属(5)、中间的红外吸收层(6)和底层的反射金属层(7)构成。
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