[实用新型]热释电焦平面阵列器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种利用电学读出方法的红外热像仪探测装置，尤其涉及一种热释电焦平面阵列器，属于红外成像设备领域。

背景技术

自从17世纪德国科学家发现了红外线，进过200多年，红外技术得到了飞速的发展。最早红外辐射和红外元部件的研究发展十分缓慢，研制成的红外探测器主要是热敏型探测器。经过前人的各种努力及累积，在70年代中后期，第一代热像仪的研制和生产得以完成。到80年代，在军事上，红外热探测器成为了部队装备中的必要辅助武器，经过了多次的实战考验，技术更加先进成熟，为后来将其应用于民用领域奠定了基础。

但在发展的过程中，这些设备和仪器依然存在一些共性问题，包括：分辨率较低、反应速度慢、难以批量生产和装备。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。

本实用新型提供了一种热释电焦平面阵列器，热释电焦平面阵列器主要包括底部的集成电路、集成电路上方的多个热敏感元件以及热敏感元件上方的红外吸收区和共用电极，其中所述红外吸收区和共用电极由上层的半透明晶金属、中间的红外吸收层和底层的反射金属层构成。

优选的，上述集成电路和热敏感元件之间通过金属支脚连接。

优选的，上述热敏感元件主要包括钛酸锶钡制成的热敏电阻。

优选的，上述热敏感元件与金属支脚之间是背面接触。

本实用新型提供的热释电焦平面阵列器兼容了焦平面阵列与硅工艺，探测器单元与基底之间设置了隔离装置，金属接触和背面接触有效地进行了热隔离，探测灵敏度高。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记：1-集成电路；2-热敏感元件；3-金属支脚；4-红外吸收区和共用电极；5-半透明金属；6-红外吸收层；7-反射金属层。

具体实施方式

为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的热释电焦平面阵列器，热释电焦平面阵列器主要包括底部的集成电路1、集成电路1上方的多个热敏感元件2以及热敏感元件2上方的红外吸收区和共用电极4，其中所述红外吸收区和共用电极4由上层的半透明晶金属5、中间的红外吸收层6和底层的反射金属层7构成。

从图1可以看出，集成电路1和热敏感元件2之间通过金属支脚3连接，是一种金属接触。热敏感元件2主要包括钛酸锶钡制成的热敏电阻。热敏感元件2与金属支脚3之间是背面接触。

本实用新型提供的热释电焦平面阵列器兼容了焦平面阵列与硅工艺，探测器单元与基底之间设置了隔离装置，金属接触和背面接触有效地进行了热隔离，探测灵敏度高。

以上所述之具体实施方式为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。