[实用新型]一种晶硅太阳能电池氧化设备

摘要

本实用新型公开了一种晶硅太阳能电池氧化设备，由真空系统、臭氧系统以及反应腔室组成，所述真空系统由真空泵和真空管路组成，真空泵与反应腔室通过真空管路相连通，所述臭氧系统由臭氧发生器和臭氧管路组成，臭氧发生器和反应腔室通过臭氧管路相连通，所述反应腔室上设置密封门。本实用新型的有益效果为通过设置反应腔室、真空系统和臭氧系统，无需改变现有的太阳能电池生产流程即可对刻蚀清洗后的电池片进行氧化处理，形成氧化层后的硅片可下传后续工序，操作简单、能够常温使用并适于批量生产。此外，氧化层厚度可通过氧化时间进行调节，减少由于氧化不彻底导致的异常产生。

主权项

一种晶硅太阳能电池氧化设备，其特征在于：由真空系统、臭氧系统以及反应腔室组成，所述真空系统由真空泵和真空管路组成，真空泵与反应腔室通过真空管路相连通，所述臭氧系统由臭氧发生器和臭氧管路组成，臭氧发生器和反应腔室通过臭氧管路相连通，所述反应腔室上设置密封门。