[实用新型]基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置

摘要

基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置，涉及一种材料耐高电压实验及检测装置。它是为了解决现有的介电强度实验装置在检测材料介电强度时不能原位的连续检测材料变化的问题。它的保护电阻的另一端与导电悬臂的一端连接；导电悬臂悬挂在压电陶瓷扫描器的上方，且与水平方向的夹角为锐角；扫描探针显微镜的探针固定在导电悬臂的另一端；压电陶瓷扫描器的上端放置有样品，扫描探针显微镜的探针位于样品的上方，且与样品的上表面接触；激光器发射的激光入射至扫描探针显微镜的探针背面，激光经扫描探针显微镜的探针反射至探测器；计时器和电流表均串联在保护电阻和高压电源之间。本实用新型适用于材料耐高电压实验及检测。

主权项

基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置，它包括保护电阻(2)、高压电源(3)和继电器；所述保护电阻(2)的一端与继电器开关的动触点连接；所述继电器开关的静触点接入高压电源(3)；其特征是：它还包括扫描探针显微镜、计时器和电流表(12)；扫描探针显微镜包括导电悬臂(5)、探针(6)、压电陶瓷扫描器(9)、激光器(7)和探测器(8)；压电陶瓷扫描器(9)接入电源；保护电阻(2)的另一端与导电悬臂(5)的一端连接；导电悬臂(5)悬挂在压电陶瓷扫描器(9)的上方，且与水平方向的夹角为锐角；探针(6)固定在导电悬臂(5)的另一端；压电陶瓷扫描器(9)的上端放置有样品(4)，探针(6)位于样品(4)的上方，且与样品(4)的上表面接触；激光器(7)发射的激光入射至探针(6)背面，所述激光经探针(6)反射至探测器(8)；计时器和电流表(12)均串联在保护电阻(2)和高压电源(3)之间。