[实用新型]基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置

权利要求书

1.基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置，它包括保护电阻(2)、高压电源(3)和继电器；所述保护电阻(2)的一端与继电器开关的动触点连接；所述继电器开关的静触点接入高压电源(3)；

其特征是：它还包括扫描探针显微镜、计时器和电流表(12)；

扫描探针显微镜包括导电悬臂(5)、探针(6)、压电陶瓷扫描器(9)、激光器(7)和探测器(8)；压电陶瓷扫描器(9)接入电源；

保护电阻(2)的另一端与导电悬臂(5)的一端连接；导电悬臂(5)悬挂在压电陶瓷扫描器(9)的上方，且与水平方向的夹角为锐角；探针(6)固定在导电悬臂(5)的另一端；

压电陶瓷扫描器(9)的上端放置有样品(4)，探针(6)位于样品(4)的上方，且与样品(4)的上表面接触；

激光器(7)发射的激光入射至探针(6)背面，所述激光经探针(6)反射至探测器(8)；

计时器和电流表(12)均串联在保护电阻(2)和高压电源(3)之间。

2.根据权利要求1所述的基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置，其特征在于它还包括计算机(10)和显示器(11)；所述计算机(10)的显示信号输出端与显示器(11)的显示信号输入端连接；所述探测器(8)的电信号输出端与计算机(10)的探测器信号输入端连接；计算机(10)的反馈控制信号输出端与压电陶瓷扫描器(9)的控制信号输入端连接。

3.根据权利要求1所述的基于扫描探针显微镜的材料耐高电压实验及检测装置，其特征在于扫描探针显微镜为多模式电场力显微镜、开尔文力显微镜、压电力显微镜、扫描电容显微镜或磁场力显微镜。