[实用新型]一种直流磁控溅射电源有效
| 申请号： | 201520206155.0 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN204517669U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 冯建军 | 申请（专利权）人： | 陕西蓝海电气有限公司 |
| 主分类号： | H02M5/458 | 分类号： | H02M5/458 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 张培勋 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种直流磁控溅射电源，包括输入整流滤波电路、IGBT全桥逆变电路、高频变压器、输出整流滤波电路，其中，输入整流滤波电路将全桥整流与电容滤波电路结合在一起；IGBT全桥逆变电路的驱动和过流保护电路采用EXB841模块。本实用新型将输入电路部分的整流和滤波整合在一起，降低电路设计的复杂性，同时在IGBT的驱动和过流保护电路上采用EXB841模块，保证其可靠并快速反应，另外又对EXB841模块进行了部分改进，降低了过流检测电压并延长了其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直流 磁控溅射 电源 | ||
【主权项】：
一种直流磁控溅射电源，包括输入整流滤波电路（1）、IGBT全桥逆变电路（2）、高频变压器（3）、输出整流滤波电路（4），其特征在于：所述输入整流滤波电路（1）的输入端接供电电网，其输出端连接IGBT全桥逆变电路（2）的输入端；所述IGBT全桥逆变电路（2）的输出端连接高频变压器（3）的输入端；所述高频变压器（3）的输出端连接输出整流滤波电路（4）的输入端；所述输入整流滤波电路（1）将全桥整流与电容滤波电路结合在一起；所述IGBT全桥逆变电路（2）还包括IGBT的驱动和过流保护电路；所述IGBT的驱动和过流保护电路采用EXB841模块；所述EXB841模块的快恢复二极管和IGBT的C端串接第一稳压管（5），管脚的2脚和9脚之间外接电阻（6）和第二稳压管（7）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西蓝海电气有限公司，未经陕西蓝海电气有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520206155.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
