[实用新型]一种直流磁控溅射电源有效
| 申请号： | 201520206155.0 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN204517669U | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 冯建军 | 申请（专利权）人： | 陕西蓝海电气有限公司 |
| 主分类号： | H02M5/458 | 分类号： | H02M5/458 |
| 代理公司： | 西安吉盛专利代理有限责任公司 61108 | 代理人： | 张培勋 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 直流 磁控溅射 电源 | ||
1.一种直流磁控溅射电源，包括输入整流滤波电路（1）、IGBT全桥逆变电路（2）、高频变压器（3）、输出整流滤波电路（4），其特征在于：所述输入整流滤波电路（1）的输入端接供电电网，其输出端连接IGBT全桥逆变电路（2）的输入端；所述IGBT全桥逆变电路（2）的输出端连接高频变压器（3）的输入端；所述高频变压器（3）的输出端连接输出整流滤波电路（4）的输入端；所述输入整流滤波电路（1）将全桥整流与电容滤波电路结合在一起；所述IGBT全桥逆变电路（2）还包括IGBT的驱动和过流保护电路；所述IGBT的驱动和过流保护电路采用EXB841模块；所述EXB841模块的快恢复二极管和IGBT的C端串接第一稳压管（5），管脚的2脚和9脚之间外接电阻（6）和第二稳压管（7）。
2.如权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述输入整流滤波电路（1）的电能传输效率取0.8，最大输出功率1.6KW，输入电压频率50Hz，所用电容C>=1.5*103uF。
3.如权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述IGBT全桥逆变电路（2）中的IGBT的通态压降Vce为3V，耐压为1200V，额定直流电流Ic是200A，lms内脉宽最大电流Icp是400A，开通延迟时间tdon为0.1us。
4.如权利要求1所述的一种直流磁控溅射电源，其特征在于：所述输出整流滤波电路（4）采用全桥整流，其中整流二极管选用额定电流为91A的输出整流二极管模块。
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