[实用新型]多晶硅还原炉的绝缘盘

摘要

本实用新型提出了一种多晶硅还原炉的绝缘盘，包括盘体，其中部设有一贯穿盘体上、下表面的圆形的通孔，该盘体为氮化硅盘体，所述盘体的上表面上设有第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽为由盘体的上表面向下凹进形成的圆环形槽，所述第二凹槽为由该第一凹槽的底面向下凹进形成的圆环形槽，所述第一凹槽的内径大于第二凹槽的内径，所述盘体的下表面上设有第三凹槽，该第三凹槽为由盘体的下表面向上凹进形成的圆环形槽，所述环槽为圆环状，其由盘体的侧面中部向内凹进形成。本实用新型中的绝缘盘由于设有环槽，增大了绝缘盘自身的弹性系数，对导体组件有一个缓冲作用，大大提高了导体组件的受挤压能力，且为氮化硅绝缘盘，绝缘及稳定性好。

主权项

一种多晶硅还原炉的绝缘盘，包括盘体，该盘体包括圆形的上表面、与该上表面相对的圆形的下表面及连接于该上、下表面之间的侧面，其中部设有一贯穿盘体上、下表面的圆形的通孔，其特征在于：所述盘体为氮化硅盘体，所述盘体的上表面上设有第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽为由盘体的上表面向下凹进形成的圆环形槽，所述第二凹槽为由该第一凹槽的底面向下凹进形成的圆环形槽，所述第一凹槽的内径大于第二凹槽的内径，所述盘体的下表面上设有第三凹槽，该第三凹槽为由盘体的下表面向上凹进形成的圆环形槽，所述环槽为圆环状，其由盘体的侧面中部向内凹进形成。