[实用新型]一种扩散泵加热板结构

摘要

本实用新型涉及一种扩散泵加热板结构，该扩散泵加热板结构包括加热板、加热管、紧顶螺栓、不锈钢板和固定螺栓，其中加热板上开有沟槽，加热管匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，加热板及其沟槽内的加热管通过顶紧螺栓连接在扩散泵底板上，并通过旋拧该顶紧螺栓，使得加热板上表面紧贴扩散泵底板下表面，不锈钢板设置在顶紧螺栓下方，并通过固定螺栓紧固连接在加热板上。本实用新型扩散泵底部加热管是线接触形式，接触面积很小，利用带槽的加热板，可以快速吸收加热管释放的热量，传递给泵底部的钢板，效率提高，可以降低加热管和泵底，扩散泵油的温差，有效的避免了因为温度过高而烧毁，扩散泵底部变形而无法使用。

主权项

一种扩散泵加热板结构，所述扩散泵包括扩散泵油(1)、扩散泵底板(2)，其特征是：该扩散泵加热板结构包括加热板(3)、加热管(4)、顶紧螺栓(5)、不锈钢板(6)和固定螺栓(7)，其中所述加热板(3)上开有沟槽，所述加热管(4)匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板(3)及其沟槽内的加热管(4)通过所述顶紧螺栓(5)连接在所述扩散泵底板(2)上，并通过旋拧该顶紧螺栓(5)，使得所述加热板(3)上表面紧贴所述扩散泵底板(2)下表面，所述不锈钢板(6)设置在所述顶紧螺栓(5)下方，并通过所述固定螺栓(7)紧固连接在所述加热板(3)上。