[实用新型]一种扩散泵加热板结构有效
| 申请号： | 201520176546.2 | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN204539495U | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 刘佩杰 | 申请（专利权）人： | 青州市宝丰镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;F04F9/00 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 龚燮英 |
| 地址： | 262515 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 加热 板结 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散泵加热板结构，所述扩散泵包括扩散泵油(1)、扩散泵底板(2)，其特征是：该扩散泵加热板结构包括加热板(3)、加热管(4)、顶紧螺栓(5)、不锈钢板(6)和固定螺栓(7)，其中所述加热板(3)上开有沟槽，所述加热管(4)匹配嵌入该沟槽中，其上部略高出沟槽上沿，所述加热板(3)及其沟槽内的加热管(4)通过所述顶紧螺栓(5)连接在所述扩散泵底板(2)上，并通过旋拧该顶紧螺栓(5)，使得所述加热板(3)上表面紧贴所述扩散泵底板(2)下表面，所述不锈钢板(6)设置在所述顶紧螺栓(5)下方，并通过所述固定螺栓(7)紧固连接在所述加热板(3)上。
2.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是：所述加热板(3)上所开的沟槽为若干同心环形沟槽。
3.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是：所述加热管(4)上部略高出沟槽上沿1mm。
4.根据权利要求1所述的扩散泵加热板结构，其特征是：所述加热板(3)与不锈钢板(6)之前填充有保温棉(8)。
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