[实用新型]基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置

摘要

本实用新型公开了基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，包括光源与准直系统，在准直系统的后端还设置有与其平行的分光镜，在分光镜的后端还依次设置有扩束系统与标准镜头，分光镜的侧面还依次设置有微透镜阵列以及光敏感器，被测平面镜或者被测球面镜设置在标准镜头的后端；光源、准直系统、分光镜、扩束系统以及标准镜头的中心位置被同一根水平光轴贯穿，被测平面镜或者被测球面镜的中心位置也被该水平光轴贯穿，分光镜、微透镜阵列以及光敏感器均被一根与水平光轴垂直的垂直光轴贯穿。本实用新型提供基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，解决了上述现有技术的问题，使得设备的结构更加简单、操作与携带更加方便。

主权项

基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，包括光源（1）与准直系统（2），在准直系统（2）的后端还设置有分光镜（3），在分光镜（3）的后端还依次设置有扩束系统（4）与标准镜头（8），在分光镜（3）的侧面还依次设置有微透镜阵列（6）以及光敏感器（7），被测平面镜（5）或者被测球面镜（9）设置在标准镜头（8）的后端。