[实用新型]基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置

权利要求书

1.基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，包括光源（1）与准直系统（2），在准直系统（2）的后端还设置有分光镜（3），在分光镜（3）的后端还依次设置有扩束系统（4）与标准镜头（8），在分光镜（3）的侧面还依次设置有微透镜阵列（6）以及光敏感器（7），被测平面镜（5）或者被测球面镜（9）设置在标准镜头（8）的后端。

2. 根据权利要求1所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述光源（1）、准直系统（2）、分光镜（3）、扩束系统（4）以及标准镜头（8）的中心位置被同一根水平光轴（10）贯穿，被测平面镜（5）或者被测球面镜（9）的中心位置也被该水平光轴（10）贯穿，分光镜（3）、微透镜阵列（6）以及光敏感器（7）均被一根与水平光轴（10）垂直的垂直光轴（11）贯穿。

3. 根据权利要求2所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述光源（1）设置在准直系统（2）的聚焦面上，光敏感器（7）的敏感面位于微透镜阵列的聚焦面上。

4. 根据权利要求3所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述光源（1）为点光源。

5. 根据权利要求4所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述扩束系统（4）为伽利略扩束系统或开普勒扩束系统。

6. 根据权利要求5所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述光敏感器（7）是CCD或CMOS阵列型光敏感器。

7. 根据权利要求6所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述分光镜（3）是分光板或分光棱镜，分光比为1：1。

8. 根据权利要求7所述的基于自准直哈特曼波前传感器测量波前以及面型的装置，其特征在于，所述光源（1）与准直系统（2）组成的整体与微透镜阵列（6）与光敏感器（7）组成的整体的位置可以进行互换。