[实用新型]基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置

摘要

一种基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，包括用于存放研磨液的容器，容器的内腔底面为工作台，工作台上固定基片，基片的上方依次布置定位板和振动板，定位板的两侧开有下安装孔，振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在基片上，销钉的中部设有自上而下布置的上凸包和下凸包，上凸包与上安装孔点接触式连接，下凸包和下安装孔点接触式连接，定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，定位孔内安装研磨球，研磨球的上端与振动板的底面接触，振动板的顶面与振动杆的下端接触，振动杆的上端与换能器的输出端连接，换能器与超声波发生器连接。本实用新型能够兼顾加工精度和加工效率、加工一致性较好、简化加工装置的控制模式。

主权项

一种基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，其特征在于：所述加工装置包括用于存放研磨液的容器，所述容器的内腔底面为工作台，所述工作台上固定基片，所述基片的上方依次布置定位板和振动板，所述振动板位于所述定位板的上方，所述定位板的两侧开有下安装孔，所述振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在所述基片上，所述销钉的中部设有自上而下布置的上凸包和下凸包，销钉穿过所述上安装孔和下安装孔，所述上凸包与所述上安装孔点接触式连接，所述下凸包和所述下安装孔点接触式连接，所述定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，所述定位孔内安装研磨球，所述研磨球的上端与所述振动板的底面接触，所述研磨球与所述基片之间为供待加工的工件放置的加工工位，所述振动板的顶面与振动杆的下端接触，所述振动杆的上端与换能器的输出端连接，所述换能器与超声波发生器连接。