[实用新型]基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置

权利要求书

1.一种基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，其特征在于：所述加工装置包括用于存放研磨液的容器，所述容器的内腔底面为工作台，所述工作台上固定基片，所述基片的上方依次布置定位板和振动板，所述振动板位于所述定位板的上方，所述定位板的两侧开有下安装孔，所述振动板的两侧开有上安装孔，销钉下端固定在所述基片上，所述销钉的中部设有自上而下布置的上凸包和下凸包，销钉穿过所述上安装孔和下安装孔，所述上凸包与所述上安装孔点接触式连接，所述下凸包和所述下安装孔点接触式连接，所述定位板的中部开有供研磨球安装的定位孔，所述定位孔内安装研磨球，所述研磨球的上端与所述振动板的底面接触，所述研磨球与所述基片之间为供待加工的工件放置的加工工位，所述振动板的顶面与振动杆的下端接触，所述振动杆的上端与换能器的输出端连接，所述换能器与超声波发生器连接。

2.如权利要求1所述的基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，其特征在于：所述定位板的中部开有至少两个定位孔。

3.如权利要求1或2所述的基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，其特征在于：所述换能器位于冷却外壳内，所述冷却外壳设有冷却进口和冷却出口，所述冷却进口与冷却水箱的出口通过连通管连通，所述连通管上安装水泵，所述冷却出口与所述冷却水箱的进口连通。

4.如权利要求1或2所述的基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加工装置，其特征在于：所述上凸包和下凸包为球形凸包。

5.如权利要求1或2所述的基于超声波研磨方式的高精度微小凹模加 工装置，其特征在于：所述振动板与所述振动杆接触处为向下凹的球形，所述振动杆的下端为半球形。