[实用新型]高光抽取效率GaN基LED透明电极结构有效
申请号: | 201520136233.4 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN204407352U | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 李睿 | 申请(专利权)人: | 江苏新广联半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/42 | 分类号: | H01L33/42;H01L33/00 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 曹祖良;张涛 |
地址: | 214192 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种透明电极结构,尤其是一种高光抽取效率GaN基LED透明电极结构,属于LED半导体器件的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案,所述高光抽取效率GaN基LED透明电极结构,包括GaN基板;在所述GaN基板上设置纳米柱层以及覆盖所述纳米柱层上的ITO层;所述纳米柱层包括若干纳米柱,ITO层覆盖在纳米柱上,并填充在纳米柱两侧的柱隔离孔内,以使得ITO层与GaN基板欧姆接触。本实用新型能显著提高GaN基正装LED的光抽取效率,工艺操作方便,成本低,适应范围广,安全可靠。 | ||
搜索关键词: | 抽取 效率 gan led 透明 电极 结构 | ||
【主权项】:
一种高光抽取效率GaN基LED透明电极结构,包括GaN基板(1);其特征是:在所述GaN基板(1)上设置纳米柱层以及覆盖所述纳米柱层上的ITO层(4);所述纳米柱层包括若干纳米柱(2),ITO层(4)覆盖在纳米柱(2)上,并填充在纳米柱(2)两侧的柱隔离孔(3)内,以使得ITO层(4)与GaN基板(1)欧姆接触。
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