[实用新型]多晶硅尾气回收系统

摘要

本实用新型公开了多晶硅尾气回收系统，其包括尾气逐级冷凝器、氯硅烷分离罐、贫富液换热器、HCl解析塔、高纯度HCl冷凝器、高纯度HCl回流罐、吸气缓冲罐、氢气压缩机、氢压机出口缓冲罐、混合气换热器、吸收塔、氢气吸附柱、过滤器、氢气缓冲罐和再生气逐级冷凝器；通过本实用新型系统可将还原尾气中的有用物料分离，按照还原尾气每小时35515.6Kg/h的流量，每小时分离出氢气1934Kg，回收氯化氢1127Kg，回收氯硅烷32411.6Kg，物料的回收节省了大量的原材料消耗；本实用新型系统实现充分循坏利用系统内部能量，大大降低能量损耗。

主权项

多晶硅尾气回收系统，其特征在于，其包括尾气逐级冷凝器、氯硅烷分离罐、贫富液换热器、HCl解析塔、高纯度HCl冷凝器、高纯度HCl回流罐、吸气缓冲罐、氢气压缩机、氢压机出口缓冲罐、混合气换热器、吸收塔、氢气吸附柱、过滤器、氢气缓冲罐和再生气逐级冷凝器；所述尾气逐级冷凝器的液相出口与所述氯硅烷分离罐进口连接，所述氯硅烷分离罐出口与所述贫富液换热器的进口连接，所述贫富液换热器的出口与所述HCl解析塔的进口连接，所述HCl解析塔的氯硅烷出口与氯硅烷罐区连接，所述HCl解析塔的氯化氢出口与所述高纯度HCl冷凝器进口连接，所述高纯度HCl冷凝器出口与所述高纯度HCl回流罐进口连接，所述高纯度HCl回流罐的回流出口与所述HCl解析塔的进口连接，所述HCl解析塔的不凝气出口与所述氯硅烷分离罐进口连接；所述尾气逐级冷凝器的气相出口与所述吸气缓冲罐的进口连接、所述吸气缓冲罐的出口与所述氢气压缩机的进口连接，所述氢气压缩机的出口与所述氢压机出口缓冲罐的进口连接，所述氢压机出口缓冲罐的出口分别与所述混合气换热器的混合气进口和所述尾气逐级冷凝器的进气口连接，所述混合气换热器的混合气出口与所述吸收塔下部的进口连接，所述吸收塔顶部的气相出口与所述混合气换热器的气相进口连接，所述混合气换热器的氢气出口与所述氢气吸附柱下方的进气口连接；所述氢气吸附柱顶部的氢气出口与所述过滤器进口连接，所述过滤器出口与所述氢气缓冲罐进口连接；所述吸收塔的液相出口与所述贫富液换热器的进口连接。