[实用新型]多晶硅尾气回收系统

权利要求书

1.多晶硅尾气回收系统，其特征在于，其包括尾气逐级冷凝器、氯硅烷分离罐、贫富液换热器、HCl解析塔、高纯度HCl冷凝器、高纯度HCl回流罐、吸气缓冲罐、氢气压缩机、氢压机出口缓冲罐、混合气换热器、吸收塔、氢气吸附柱、过滤器、氢气缓冲罐和再生气逐级冷凝器；所述尾气逐级冷凝器的液相出口与所述氯硅烷分离罐进口连接，所述氯硅烷分离罐出口与所述贫富液换热器的进口连接，所述贫富液换热器的出口与所述HCl解析塔的进口连接，所述HCl解析塔的氯硅烷出口与氯硅烷罐区连接，所述HCl解析塔的氯化氢出口与所述高纯度HCl冷凝器进口连接，所述高纯度HCl冷凝器出口与所述高纯度HCl回流罐进口连接，所述高纯度HCl回流罐的回流出口与所述HCl解析塔的进口连接，所述HCl解析塔的不凝气出口与所述氯硅烷分离罐进口连接；

所述尾气逐级冷凝器的气相出口与所述吸气缓冲罐的进口连接、所述吸气缓冲罐的出口与所述氢气压缩机的进口连接，所述氢气压缩机的出口与所述氢压机出口缓冲罐的进口连接，所述氢压机出口缓冲罐的出口分别与所述混合气换热器的混合气进口和所述尾气逐级冷凝器的进气口连接，所述混合气换热器的混合气出口与所述吸收塔下部的进口连接，所述吸收塔顶部的气相出口与所述混合气换热器的气相进口连接，所述混合气换热器的氢气出口与所述氢气吸附柱下方的进气口连接；所述氢气吸附柱顶部的氢气出口与所述过滤器进口连接，所述过滤器出口与所述氢气缓冲罐进口连接；所述吸收塔的液相出口与所述贫富液换热器的进口连接。

2.根据权利要求1所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，其还包括有再生气逐级冷凝器和再生氢气压缩机，所述氢气吸附柱的再生气出口与所述再生气逐级冷凝器的进口连接，所述再生气逐级冷凝器的回收液出口与所述氯硅烷罐区连接；所述再生气逐级冷凝器的不凝气出口与所述再生氢气压缩机进口连接，所述再生氢气压缩机出口与所述吸气缓冲罐的氢气进口连接。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述尾气逐级冷凝器包括E-202、E-204和E-205，其中，E-202为管壳式换热器，E-204为-15℃氟利昂满液式换热器，E-205为-46℃氟利昂满液式换热器。

4.根据权利要求2所述的多晶硅尾气回收系统，其特征在于，所述再生气逐级冷凝器包括循环水换热器、气气换热器和-46℃氟利昂满液式换热器。