[实用新型]一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构有效

专利信息
申请号: 201520109463.1 申请日: 2015-02-13
公开(公告)号: CN204608148U 公开(公告)日: 2015-09-02
发明(设计)人: 孔令杰;吴克松;丁玉林 申请(专利权)人: 安徽贝意克设备技术有限公司
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 230088 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构,包括有腔体,所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰,底座法兰的上端面固定有下加热区机构,底座法兰上开设有多个连接圆孔,连接圆孔上连接着真空电极组件,上盖法兰的上端面中部设有承接件,承接件的一侧设有排气阀,承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接,上加热区机构固定在上盖法兰的下端,腔体的侧面上开设有槽孔,槽孔上固定有透视组件,透视组件上设有透明玻璃,透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈;本实用新型其结构独特简单,快速升降温度,而且加热部件区间距离可调,加热效果好,部件占用空间范围小,能够降低能耗。
搜索关键词: 一种 可调 化合物 蒸发 镀膜 红外 真空 装置 加热 机构
【主权项】:
一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构,其特征在于:包括有腔体,所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰,所述的上盖法兰、底座法兰的圆周内侧开设有多个相邻两两相互等距的圆孔,底座法兰的上端面固定有下加热区机构,底座法兰上开设有多个连接圆孔,连接圆孔上连接着真空电极组件,上盖法兰的上端面中部设有承接件,所述的承接件的一侧设有排气阀,所述的承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接,上加热区机构固定在上盖法兰的下端,所述的腔体的侧面上开设有槽孔,槽孔上固定有透视组件,所述的透视组件上设有透明玻璃,所述的透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈。
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