[实用新型]一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构

权利要求书

1.一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，其特征在于：包括有腔体，所述的腔体的上端、下端分别连接有上盖法兰、底座法兰，所述的上盖法兰、底座法兰的圆周内侧开设有多个相邻两两相互等距的圆孔，底座法兰的上端面固定有下加热区机构，底座法兰上开设有多个连接圆孔，连接圆孔上连接着真空电极组件，上盖法兰的上端面中部设有承接件，所述的承接件的一侧设有排气阀，所述的承接件通过升降调节旋钮与上加热区机构的光轴连接，上加热区机构固定在上盖法兰的下端，所述的腔体的侧面上开设有槽孔，槽孔上固定有透视组件，所述的透视组件上设有透明玻璃，所述的透视组件与透明玻璃之间固定连接有O型圈。

2.根据权利要求1所述的一种可调化合物蒸发镀膜红外真空装置的加热蒸发机构，其特征在于：所述的真空电极组件包括双芯真空电极、中心支架、法兰卡箍，所述的双芯真空电极的上端、下端分别连接有法兰卡箍，所述的双芯真空电极上部连接有中心支架，中心支架固定在双芯真空电极上端的法兰卡箍。