[实用新型]一种真空退火炉

摘要

本实用新型公开了一种真空退火炉，包括炉门、炉壳和炉胆，在所述炉壳下面装有机座，在所述炉壳与所述炉胆之间设有真空规，水冷电极和热电偶，所述热电偶穿过所述炉壳，伸入至所述炉胆内部，所述炉胆包括外壳体，在所述外壳体的内层设有隔热层，在所述隔热层上通过支撑架承载有料框，在所述炉胆内还设有支架，所述支架上分布有发热棒，所述发热棒延伸至所述外壳体的外围，与水冷电极相接；所述炉胆的两侧连接有电磁阀，其中一侧的电磁阀与减压阀相接，另一侧的电磁阀依次连接有罗茨泵和机械泵，通过以上技术方案，不仅能提升退火效率，而且能提升产品的质量。

主权项

一种真空退火炉，包括炉门、炉壳和炉胆，所述炉门位于所述炉壳的前后，形成前炉门和后炉门，在所述炉壳下面装有机座，其特征在于，在所述炉壳与所述炉胆之间设有真空规，水冷电极和热电偶，所述热电偶穿过所述炉壳，伸入至所述炉胆内部，所述炉胆包括外壳体，在所述外壳体的内层设有隔热层，在所述隔热层上通过支撑架承载有料框，在所述炉胆内还设有支架，所述支架上分布有发热棒，所述发热棒延伸至所述外壳体的外围，与水冷电极相接；所述炉胆的两侧连接有电磁阀，其中一侧的电磁阀与减压阀相接，另一侧的电磁阀依次连接有罗茨泵和机械泵。