[实用新型]一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置

摘要

本实用新型公开了一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置，其中，石英管中间横向设有样品支撑架，石英管上部设有阴电极，石英管下部设有阳电极，石英管上、下端设有密封橡皮塞，阴电极与样品支撑架之间设有负辉区，阳电极与样品支撑架之间设有法拉第暗区，气体调节阀经质量流量计、上端密封橡皮塞与石英管上部相连，高压负电源经上端密封橡皮塞与阴电极相连，真空泵经真空调节阀、真空计、下端密封橡皮塞与石英管下部相连，阳电极经下端密封橡皮塞接地。本实用新型制备得到的石墨烯薄膜石墨化程度高，性能优良。此外，本实用新型相比于传统化学还原法及热还原方法，具有耗时短、还原效率高、无需还原剂及加热源等优点，具有大规模工业化应用的潜力。

主权项

一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置，其特征是：包括气体调节阀(1)、质量流量计(2)、高压负电源(3)、阴电极(4)、样品支撑架(5)、阳电极(6)、石英管(7)、真空泵(8)、真空调节阀(9)、真空计(10)、负辉区(11)、法拉第暗区(12)；石英管(7)中间横向设有样品支撑架(5)，石英管上部设有阴电极(4)，石英管下部设有阳电极(6)，石英管上、下端设有密封橡皮塞，阴电极与样品支撑架之间设有负辉区(11)，阳电极与样品支撑架之间设有法拉第暗区(12)，气体调节阀(1)经质量流量计(2)、上端密封橡皮塞与石英管上部相连，高压负电源(3)经上端密封橡皮塞与阴电极(4)相连，真空泵(8)经真空调节阀(9)、真空计(10)、下端密封橡皮塞与石英管下部相连，阳电极(6)经下端密封橡皮塞接地。