[实用新型]孔板电极扫描式掩膜电解加工装置有效

专利信息
申请号: 201520073955.X 申请日: 2015-02-02
公开(公告)号: CN204397104U 公开(公告)日: 2015-06-17
发明(设计)人: 郭钟宁;王亚坤;郑文书;吴明;江树镇 申请(专利权)人: 广东工业大学
主分类号: B23H3/00 分类号: B23H3/00;B23H3/04;B23H5/02
代理公司: 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 代理人: 刘媖
地址: 510090 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种孔板电极扫描式掩膜电解加工装置,包括机架、工作台(1)、孔板电极(4)、侧板(6)、支撑板(8)、电源(9),工作台设置在机架上并可沿水平面在X、Y方向移动,机架上设置有驱动工作台移动的水平驱动部件,机架上设置有可沿Z方向移动的主轴(10)以及驱动主轴的竖直驱动部件,孔板电极、侧板和支撑板通过螺钉(5)相互连接形成一个工作液容腔,工作液容腔通过进液管(7)与工作液源连接,孔板电极位于工作液容腔底部,支撑板位于工作液容腔顶部,支撑板上面与主轴固定连接,电源的正极与工作台(1)上的工件相连,负极与孔板电极(4)相连。本实用新型的加工均匀性好,适用于大面积微结构的连续加工。
搜索关键词: 电极 扫描 式掩膜 电解 加工 装置
【主权项】:
一种孔板电极扫描式掩膜电解加工装置,其特征在于:包括机架、工作台(1)、孔板电极(4)、侧板(6)、支撑板(8)、电源(9),所述工作台(1)设置在机架上并可沿水平面在X、Y方向移动,机架上设置有驱动工作台(1)移动的水平驱动部件,所述机架上设置有可沿Z方向移动的主轴(10)以及驱动主轴的竖直驱动部件,所述孔板电极(4)、侧板(6)和支撑板(8)通过螺钉(5)相互连接形成一个工作液容腔,工作液容腔通过进液管(7)与工作液源连接,孔板电极(4)位于工作液容腔底部,支撑板(8)位于工作液容腔顶部,所述支撑板(8)上面与主轴(10)固定连接,所述电源(9)的正极与工作台(1)上的工件相连,负极与孔板电极(4)相连。
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