[实用新型]孔板电极扫描式掩膜电解加工装置

权利要求书

1.一种孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，其特征在于：包括机架、工作台(1)、孔板电极(4)、侧板(6)、支撑板(8)、电源(9)，所述工作台(1)设置在机架上并可沿水平面在X、Y方向移动，机架上设置有驱动工作台(1)移动的水平驱动部件，所述机架上设置有可沿Z方向移动的主轴(10)以及驱动主轴的竖直驱动部件，所述孔板电极(4)、侧板(6)和支撑板(8)通过螺钉(5)相互连接形成一个工作液容腔，工作液容腔通过进液管(7)与工作液源连接，孔板电极(4)位于工作液容腔底部，支撑板(8)位于工作液容腔顶部，所述支撑板(8)上面与主轴(10)固定连接，所述电源(9)的正极与工作台(1)上的工件相连，负极与孔板电极(4)相连。

2.根据权利要求1所述的孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，其特征在于：所述孔板电极(4)为平板状，加工有大小相同的阵列通孔(41)。

3.根据权利要求1或2所述的孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，其特征在于：还包括控制系统(11)，所述控制系统(11)与水平驱动部件和竖直驱动部件连接。

4.根据权利要求3所述的孔板电极扫描式掩膜电解加工装置，其特征在于：还包括用于检测工作台(1)与孔板电极(4)之间距离的传感器，所述传感器与控制系统(11)连接。