[实用新型]一种高抽真空的集成化移动泵组装置

摘要

本实用新型公开了一种高抽真空的集成化移动泵组装置，包括：框架本体，框架本体内包括一第一容置空间和设于第一容置空间上方的一第二容置空间；第一真空泵，安装于所述第一容置空间内；第二真空泵，安装于第二容置空间内；第一真空管，连接于第一真空泵与第二真空泵之间，且第一真空管上安装有第一真空阀；第二真空管，安装于第二真空泵上，且第二真空管上安装有第二真空阀；供移动框架本体的脚轮，安装于框架本体的底部。本实用新型采用将罗茨真空泵与数台前级旋片式真空泵的组合机组组装在可移动的框架本体内，不仅具有大容积超快的抽速，有卓越的高性能和低能耗，而且结构紧凑，占地空间少，可方便地移动至被检测部件旁，特别适应大型不易移动的被检测的大型腔。

主权项

一种高抽真空的集成化移动泵组装置，其特征在于，包括：框架本体，所述框架本体包括一第一容置空间和设于所述第一容置空间上方的一第二容置空间；第一真空泵，安装于所述第一容置空间内；第二真空泵，安装于所述第二容置空间内；第一真空管，连接于所述第一真空泵与所述第二真空泵之间，且所述第一真空管上安装有第一真空阀；第二真空管，安装于所述第二真空泵上，且所述第二真空管上安装有第二真空阀；供移动所述框架本体的脚轮，安装于所述框架本体的底部。