[实用新型]一种高抽真空的集成化移动泵组装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及抽真空装置的技术领域，尤其涉及一种高抽真空的集成化移动泵组装置。

背景技术

目前的抽真空装置抽真空度不高，尤其在抽真空有高精度要求的领域，如核电工业等领域，仅目前的抽真空装置是远远无法达到高抽真空度要求的。而且抽真空装置都是安装在一个固定支架上，使得抽真空装置在搬运、安装、维修保养时，必须借助吊装设备才能完成，而且操作时，需要较大的空间或场地，尤其是在维修时很不方便。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种高性能、低能耗、具有大容积超快抽速、结构紧凑、移动方便的高抽真空的集成化移动泵组装置。

为实现上述技术效果，本实用新型公开了一种高抽真空的集成化移动泵组装置，包括：

框架本体，所述框架本体内包括一第一容置空间和设于所述第一容置空间上方的一第二容置空间；

第一真空泵，安装于所述第一容置空间内；

第二真空泵，安装于所述第二容置空间内；

第一真空管，连接于所述第一真空泵与所述第二真空泵之间，且所述第一真空管上安装有第一真空阀；

第二真空管，安装于所述第二真空泵上，且所述第二真空管上安装有第二真空阀；

供移动所述框架本体的脚轮，安装于所述框架本体的底部。

本实用新型进一步的改进在于，所述框架本体的底部设有支撑底架，所述脚轮安装于所述支撑底架的底部。

本实用新型进一步的改进在于，所述脚轮包括滚轮支架及安装于所述滚轮支架上的滚轮，所述滚轮上设有用于锁止所述滚轮的自锁机构。

本实用新型进一步的改进在于，所述脚轮包括滚轮支脚、安装于所述滚轮支脚底部外侧的滚轮，以及可伸缩安装于所述滚轮支脚底部内侧、用于支撑所述框架本体的框架本体支脚。

本实用新型进一步的改进在于，所述第二真空泵的底部设有减震垫。

本实用新型进一步的改进在于，所述第一真空泵为旋片式真空泵。

本实用新型进一步的改进在于，所述第二真空泵为罗茨真空泵。

本实用新型进一步的改进在于，所述第一真空阀和所述第二真空阀均为真空蝶阀。

本实用新型进一步的改进在于，所述框架本体上设有电气控制操作箱。

本实用新型由于采用了以上技术方案，使其具有以下有益效果：

采用将罗茨真空泵与数台前级旋片式真空泵的组合机组组装在可移动的框架本体内，不仅具有大容积超快的抽速，有卓越的高性能和低能耗，而且结构紧凑，占地空间少，可方便地移动至被检测部件旁，特别适应大型不易移动的被检测的大型腔；如果配套相应的氦气源(瓶)和氦质谱捡漏仪，还可进行氦捡漏。

采用在滚轮上安装自锁机构，或者在脚轮底部设置可伸缩的框架本体支脚，便于在框架本体移动到位后，利用自锁机构或框架本体支脚进行定位，防止真空泵在抽真空过程中及存储中自由移动。

附图说明

图1是本实用新型高抽真空的集成化移动泵组装置的正面结构示意图。

图2是本实用新型高抽真空的集成化移动泵组装置的侧面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参阅图1和图2所示，本实用新型的高抽真空的集成化移动泵组装置1主要由一框架本体10、一第一真空泵11，一第二真空泵12以及框架本体10底部的脚轮13构成。

框架本体10为长方体形状的双层框架，包括位于下层的一第一容置空间101、以及位于上层的一第二容置空间102，框架本体10的底部设有支撑底架14，脚轮13安装于支撑底架14的底部。脚轮13包括滚轮支架131及可转动地安装于滚轮支架131上的滚轮132，为了防止脚轮13在抽真空过程中及存放中自由移动而影响装置正常作业。本实用新型特采用在滚轮132上安装用于锁止滚轮132的自锁机构。

除了采用上述自锁机构来防止滚轮132自由滚动的方案外，还可以采用在滚轮132的内侧、在滚轮支架131上可伸缩地安装一框架本体支脚133。在需要移动框架本体10时，向上收起框架本体支脚133，使滚轮131可灵活滚动，移动框架本体10；在不需要移动框架本体10时，向下伸出框架本体支脚133，落于地面上，这样就可以限制滚轮131的滚动，使框架本体10停止移动且稳定地停靠在待检测部件旁。

本实用新型的高抽真空的集成化移动泵组装置通过在泵组框架本体10的底部设置脚轮13，可方便地移动至被检测部件旁，适应大型不易移动的被检测部件的抽真空作业，操作方便，效果显著。