[实用新型]激光打标进料装置

摘要

本实用新型公开了一种激光打标进料装置，用于将待打标的晶圆在检测台与打标台上进行取放，包括装置本体、放料结构、夹料机构，各所述夹料机构包括夹料结构本体、与所述夹料机构本体装配在一起的可驱动所述夹料机构做上下移动的第一驱动机构、与所述第一驱动机构装配在一起的可驱动所述夹料机做360度旋转的第二驱动结构、二个装设于所述第二驱动结构上的用于夹紧所述晶圆的夹紧臂、与所述夹紧臂装配在一起的可驱动所述夹紧臂对所述晶圆分离或夹紧的第三驱动结构。该激光打标进料装置能准确地取出晶圆并将待打标的晶圆地放置在精确的位置，精度高、全自动运行，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

主权项

激光打标进料装置，用于将待打标的晶圆在检测台与打标台上进行取放，其特征在于：包括装置本体、装设于所述装置本体上用于对待打标晶圆片进行放置的放料结构、至少一个用于将待打标晶圆片在所述放料结构上进行取放的夹料机构，各所述夹料机构包括夹料结构本体、与所述夹料机构本体装配在一起的可驱动所述夹料机构做上下移动的第一驱动机构、与所述第一驱动机构装配在一起的可驱动所述夹料机做360度旋转的第二驱动结构、二个装设于所述第二驱动结构上的用于夹紧所述晶圆的夹紧臂、与所述夹紧臂装配在一起的可驱动所述夹紧臂对所述晶圆分离或夹紧的第三驱动结构。