[实用新型]硅烷纯化装置与灌装系统有效
| 申请号： | 201520003887.X | 申请日： | 2015-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN204437683U | 公开（公告）日： | 2015-07-01 |
| 发明（设计）人： | 周旻 | 申请（专利权）人： | 南京特种气体厂有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/02 | 分类号： | F17C5/02;B01D8/00;C01B33/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 许丹丹 |
| 地址： | 211113 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅烷纯化装置和灌装系统，纯化装置包括冷阱和密封罐体，密封罐体置于冷阱中，冷阱上部设有液氮入口和热水入口，底部设有液氮出口和热水出口；密封罐体顶部设有进气管和出气管；密封罐体内部装有纯化剂，在密封罐体内部上方留有气体容置空间。灌装系统包括上述纯化装置、高纯原料气源、配气瓶、液氮循环系统和热水循环系统，高纯原料气源经过第一开关阀连接至进气管，配气瓶经过第二开关阀连接至出气管，出气管还与第三开关阀连接，第三开关阀连接真空与排空系统。本实用新型设计合理，操作方便，实现了低温环境下对高纯硅烷同时进行气液分离和液态纯化，提高了纯化效率，且实现了纯化与灌装一体的工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 纯化 装置 灌装 系统 | ||
【主权项】：
一种硅烷纯化装置，包括冷阱和密封罐体，其特征在于，所述密封罐体置于所述冷阱中，所述冷阱上部设有液氮入口和热水入口，底部设有液氮出口和热水出口；所述密封罐体顶部设有进气管和出气管；所述密封罐体内部装有纯化剂，在密封罐体内部上方留有气体容置空间。
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