[实用新型]硅烷纯化装置与灌装系统

权利要求书

1.一种硅烷纯化装置，包括冷阱和密封罐体，其特征在于，所述密封罐体置于所述冷阱中，所述冷阱上部设有液氮入口和热水入口，底部设有液氮出口和热水出口；所述密封罐体顶部设有进气管和出气管；所述密封罐体内部装有纯化剂，在密封罐体内部上方留有气体容置空间。

2.根据权利要求1所述的硅烷纯化装置，其特征在于，所述密封罐体为圆柱形不锈钢罐体，包括罐体主体和法兰，所述进气管和出气管焊接在法兰上。

3.根据权利要求1所述的硅烷纯化装置，其特征在于，所述冷阱为圆柱形，底面为圆弧凸面，所述液氮出口和热水出口设于底面的低点处。

4.根据权利要求1所述的硅烷纯化装置，其特征在于，所述纯化剂为多金属微孔纯化剂。

5.一种硅烷灌装系统，其特征在于，包括如权利要求1-4任一项所述的硅烷纯化装置、高纯原料气源、配气瓶、液氮循环系统和热水循环系统，所述高纯原料气源经过第一开关阀连接至纯化装置的进气管，所述配气瓶经过第二开关阀连接至纯化装置的出气管，纯化装置的出气管还与第三开关阀连接，所述第三开关阀连接真空与排空系统；所述第一开关阀与纯化装置的进气管之间的管路上设有压力表；所述液氮循环系统与纯化装置的液氮入口和液氮出口连接，所述热水循环系统与纯化装置的热水入口和热水出口连接。

6.根据权利要求5所述的硅烷灌装系统，其特征在于，所述真空与排空系统的出气管连接装有活性炭吸附剂的过滤装置。