[发明专利]拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法有效
| 申请号： | 201511031916.4 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN106933057B | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 罗兵 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法。所述拼接物镜包括至少一组物镜，所述一组物镜包括相互光路连接的上、下物镜，所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上、下进水管、上、下出水管、循环水控制单元、上、下温度传感器以及至少一个下加热器；所述上、下物镜均设置于水套内，所述上进水管和上出水管设置于上物镜处，所述下进水管和下出水管设置于下物镜处，所述循环水控制单元与上、下进水管、上、下出水管连通，所述上、下温度传感器分别邻近上物镜和下物镜，至少一个所述下加热器设置于下进水管上，以通过加热器加热下进水管中的循环冷却水，从而平衡上、下物镜的温度，保证温度控制的整个均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 物镜 温度 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种拼接物镜温度控制装置，所述拼接物镜包括至少一组物镜，所述一组物镜包括相互光路连接的上物镜和下物镜，其特征在于，所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上进水管、上出水管、下进水管、下出水管、循环水控制单元、上温度传感器、下温度传感器以及至少一个下加热器；其中，所述上物镜和下物镜均设置于所述水套内，所述上进水管和上出水管设置于所述上物镜处并通过所述水套连通，所述下进水管和下出水管设置于所述下物镜处并通过所述水套连通，所述循环水控制单元与所述上进水管、上出水管、下进水管和下出水管连通，所述上温度传感器邻近所述上物镜，所述下温度传感器邻近所述下物镜，至少一个所述下加热器设置于所述下进水管上。
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