[发明专利]拼接物镜温度控制装置及拼接物镜温度控制方法有效

专利信息
申请号: 201511031916.4 申请日: 2015-12-31
公开(公告)号: CN106933057B 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 罗兵 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 拼接 物镜 温度 控制 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种拼接物镜温度控制装置,所述拼接物镜包括至少一组物镜,所述一组物镜包括相互光路连接的上物镜和下物镜,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置包括水套、上进水管、上出水管、下进水管、下出水管、循环水控制单元、上温度传感器、下温度传感器以及至少一个下加热器;其中,所述上物镜和下物镜均设置于所述水套内,所述上进水管和上出水管设置于所述上物镜处并通过所述水套连通,所述下进水管和下出水管设置于所述下物镜处并通过所述水套连通,所述循环水控制单元与所述上进水管、上出水管、下进水管和下出水管连通,所述上温度传感器邻近所述上物镜,所述下温度传感器邻近所述下物镜,至少一个所述下加热器设置于所述下进水管上。

2.如权利要求1所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置还包括至少一个上加热器,至少一个所述上加热器设置于所述上进水管上。

3.如权利要求2所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述水套为一整体式结构,所述水套包括上放置区域和下放置区域,所述拼接物镜包括多组物镜,所述多组物镜中的所述上物镜均设置于所述上放置区域,所述多组物镜中的所述下物镜均设置于所述下放置区域。

4.如权利要求3所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上进水管包括一根上总进水管和与所述上总进水管连通的多根上分支进水管,所述下进水管包括一根下总进水管和与所述下总进水管连通的多根下分支进水管;其中,所述循环水控制单元与所述上总进水管和所述下总进水管连通,每个所述上物镜处设置有一根所述上分支进水管,每个所述下物镜处设置有一根所述下分支进水管,至少一个所述下加热器设置于所述下总进水管上,至少一个所述上加热器设置于所述上总进水管上。

5.如权利要求3所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上温度传感器设置于临近所述上放置区域的中间位置,所述下温度传感器设置于临近所述下放置区域的中间位置。

6.如权利要求1或2所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述拼接物镜包括多组物镜,所述多组物镜划分为若干物镜组,每个所述物镜组共用一个所述水套,每个所述水套包括上放置区域和下放置区域,每个所述物镜组中的所述上物镜均设置于同一个所述水套的所述上放置区域,每个所述物镜组中的所述下物镜均设置于同一个所述水套的所述下放置区域。

7.如权利要求6所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述上进水管包括多根上总进水管和与每根所述上总进水管连通的多根上分支进水管,每个所述物镜组中的所述上物镜共用一根所述上总进水管;所述下进水管包括多根下总进水管和与每根所述下总进水管连通的多根下分支进水管,每个所述物镜组中的所述下物镜共用一根所述下总进水管;所述拼接物镜温度控制装置包括多个上加热器和下加热器,每根所述上总进水管上设置有一个所述上加热器,每根所述下总进水管上设置有一个所述下加热器;每个所述物镜组中邻近所述上物镜处均设置有一个所述上温度传感器,每个所述物镜组中邻近所述下物镜处均设置有一个所述下温度传感器。

8.如权利要求1所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述水套中设置有与所述上进水管、所述上出水管、所述下进水管和所述下出水管连通的流道,所述流道分布在所述上物镜和所述下物镜的周围。

9.如权利要求8所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述流道为螺旋流道或者弓形流道。

10.如权利要求1所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述拼接物镜温度控制装置还包括设置于所述上进水管和所述下进水管上的调节阀。

11.一种拼接物镜温度控制方法,采用如权利要求1所述的拼接物镜温度控制装置,其特征在于,所述循环水控制单元根据所述上温度传感器和所述下温度传感器的温度探测结果控制所述下加热器的加热温度。

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