[发明专利]运动台装置、曝光装置及光刻机

摘要

本发明公开了一种运动台装置、曝光装置及光刻机，其中，所述运动台装置包括：Y向电机，所述Y向电机的电机动子可沿水平面的Y向移动；X向电机，设置在X向导轨上，所述X向导轨与所述Y向电机的电机动子连接，并由所述Y向电机牵引沿水平面的Y向移动，所述X向电机的电机动子可沿水平面的X向移动；内部框架，支承所述X向导轨；运动台，设置在所述X向电机的电机动子上。本发明提供的技术方案使得Y向电机的运动单元整体减重，提升了运动台装置的模态和振动特性，所述X向导轨通过非接触式连接内部框架，对内部框架产生的振动冲击较小，同时使运动控制平稳，提升运动控制精度。

主权项

1.一种运动台装置，其特征在于，包括：Y向电机，所述Y向电机的电机动子可沿水平面的Y向移动；X向电机，设置在X向导轨上，所述X向导轨与所述Y向电机的电机动子连接，并由所述Y向电机牵引沿水平面的Y向移动，所述X向电机的电机动子可沿水平面的X向移动；内部框架，支承所述X向导轨；运动台，设置在所述X向电机的电机动子上；所述X向导轨的数量为2个，通过连接结构相互固定连接；所述X向电机的数量为2个，每个所述X向电机的电机动子设置在运动台上，每个所述X向电机的电机定子对应设置在所述X向导轨上；所述运动台包括X向滑块和微动底板，所述X向滑块上设置有所述X向电机的电机动子，所述微动底板和X向滑块之间设置有X向微动电机和Y向微动电机；所述X向微动电机和Y向微动电机的数量各为2个，对称设置在X向和Y向上；所述X向滑块上设有凹槽，所述凹槽四个内壁上设置有所述X向微动电机的电机定子或所述Y向微动电机的电机定子，所述微动底板下方通过延伸件到达所述凹槽内，所述延伸件上设置有所述X向微动电机的电机动子或所述Y向微动电机的电机动子。