[发明专利]运动台装置、曝光装置及光刻机

权利要求书

1.一种运动台装置，其特征在于，包括：

Y向电机，所述Y向电机的电机动子可沿水平面的Y向移动；

X向电机，设置在X向导轨上，所述X向导轨与所述Y向电机的电机动子连接，并由所述Y向电机牵引沿水平面的Y向移动，所述X向电机的电机动子可沿水平面的X向移动；

内部框架，支承所述X向导轨；

运动台，设置在所述X向电机的电机动子上；

所述X向导轨的数量为2个，通过连接结构相互固定连接；

所述X向电机的数量为2个，每个所述X向电机的电机动子设置在运动台上，每个所述X向电机的电机定子对应设置在所述X向导轨上；

所述运动台包括X向滑块和微动底板，所述X向滑块上设置有所述X向电机的电机动子，所述微动底板和X向滑块之间设置有X向微动电机和Y向微动电机；

所述X向微动电机和Y向微动电机的数量各为2个，对称设置在X向和Y向上；

所述X向滑块上设有凹槽，所述凹槽四个内壁上设置有所述X向微动电机的电机定子或所述Y向微动电机的电机定子，所述微动底板下方通过延伸件到达所述凹槽内，所述延伸件上设置有所述X向微动电机的电机动子或所述Y向微动电机的电机动子。

2.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述Y向电机的数量为2个，设置在外部框架上。

3.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述Y向电机的数量为2个，设置在所述内部框架上。

4.根据权利要求3所述的运动台装置，其特征在于，所述Y向电机的电机定子通过反力消耗装置与外部框架连接。

5.根据权利要求4所述的运动台装置，其特征在于，所述反力消耗装置包括阻尼元件和/或弹簧元件。

6.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述内部框架上设置有Y向中间导轨，所述X向导轨下表面设有气浮结构，所述Y向中间导轨为所述气浮结构的气浮支撑面。

7.根据权利要求6所述的运动台装置，其特征在于，所述Y向中间导轨的数量为多个。

8.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述X向导轨通过连接件与所述Y向电机的电机动子连接，所述连接件采用Z向刚度低于X向、Y向刚度的柔性件。

9.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述X向导轨的数量至少为一个。

10.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述X向滑块两端均采用倒U形结构，覆盖于对应的X向导轨的两侧和上方，所述X向导轨内侧设置有所述X向电机的电机定子，所述X向电机的电机动子设置在所述倒U形结构的内壁上。

11.根据权利要求10所述的运动台装置，其特征在于，所述倒U形结构对应于所述X向导轨外侧和上方的内壁上设置有气浮结构，所述气浮结构支承所述X向滑块。

12.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述微动底板下表面设置有气浮结构，所述X向滑块为所述气浮结构的气浮支撑面。

13.根据权利要求1所述的运动台装置，其特征在于，所述微动底板上表面固定连接承板座，所述承板座承载基板。

14.根据权利要求1或9所述的运动台装置，其特征在于，所述内部框架用于非接触式支撑所述X向导轨。

15.一种曝光装置，其特征在于，包括权利要求1-14中任何一项所述的运动台装置。