[发明专利]一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用在审
| 申请号： | 201511025642.8 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105420675A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 王汉斌;宋爱民;王卿璞 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨树云 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置及应用，包括蒸发腔室、蒸发源、样品架，蒸发源、样品架设置在蒸发腔室内，样品架上设有套筒，套筒上下开口，套筒的材质为不透明金属或非金属，套筒的内壁的反射率不大于40％。本发明通过在样品架上设置套筒，将衬底设置在套筒中，减少甚至能阻止蒸发腔室侧壁将蒸发源发出的辐射热反射到衬底上，从而减少衬底升温，防止衬底本身或者其上的材料因不能承受高温烘烤而造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减少 蒸发 镀膜 设备 衬底 材料 烘烤 升温 影响 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种减少蒸发镀膜设备中衬底或其上的材料受烘烤升温影响的装置，其特征在于，包括蒸发腔室、蒸发源、样品架，所述蒸发源、所述样品架设置在所述蒸发腔室内，所述样品架上设有套筒，所述套筒上下开口，所述套筒的材质为不透明的金属或非金属，所述套筒的内壁的反射率不大于40％。
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