[发明专利]一种测量微位移的装置在审
申请号: | 201511022390.3 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN105466342A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 常相辉;樊代和;张祖豪;郭培利;马亚宁;徐勋义;刘子健;秦鹏程 | 申请(专利权)人: | 西南交通大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
地址: | 610031 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种测量微位移的装置,包括导轨、固定安装在导轨前端的固定板、固定安装在导轨中部的主板以及活动安装在导轨后端可沿导轨轴线滑动的镜架,固定板上设有光检测器,主板上设有激光器、分光镜和第一反射镜,镜架上设有第二反射镜,所述激光器、分光镜、第一反射镜、第二反射镜和光检测器构成迈克尔逊干涉仪,被测物体的两端分别固定在主板和镜架上。本发明所提供的测量微位移的装置,结构简单,更加小型化,便于携带;测量结果由光检测器直接读取,提高了检测精度,且操作简单,易于调节。 | ||
搜索关键词: | 一种 测量 位移 装置 | ||
【主权项】:
一种测量微位移的装置,其特征在于:包括导轨(1)、固定安装在导轨(1)前端的固定板(2)、固定安装在导轨(1)中部的主板(3)以及活动安装在导轨(1)后端可沿导轨(1)轴线滑动的镜架(4),固定板(2)上设有光检测器(5),主板(3)上设有激光器(6)、分光镜(7)和第一反射镜(8),镜架(4)上设有第二反射镜(9),所述激光器(6)、分光镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)和光检测器(5)构成迈克尔逊干涉仪,被测物体的两端分别固定在主板(3)和镜架(4)上。
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