[发明专利]一种测量微位移的装置在审
| 申请号： | 201511022390.3 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105466342A | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 常相辉;樊代和;张祖豪;郭培利;马亚宁;徐勋义;刘子健;秦鹏程 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 周永宏 |
| 地址： | 610031 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测量 位移 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种测量微位移的装置，其特征在于：包括导轨(1)、固定安装在导轨(1)前端的固定板(2)、固定安装在导轨(1)中部的主板(3)以及活动安装在导轨(1)后端可沿导轨(1)轴线滑动的镜架(4)，固定板(2)上设有光检测器(5)，主板(3)上设有激光器(6)、分光镜(7)和第一反射镜(8)，镜架(4)上设有第二反射镜(9)，所述激光器(6)、分光镜(7)、第一反射镜(8)、第二反射镜(9)和光检测器(5)构成迈克尔逊干涉仪，被测物体的两端分别固定在主板(3)和镜架(4)上。
2.根据权利要求1所述的测量微位移的装置，其特征在于：所述主板(3)上设有第一安装座(11)，镜架(4)上设有第二安装座(12)，第一安装座(11)和第二安装座(12)用于固定被测物体的两端。
3.根据权利要求2所述的测量微位移的装置，其特征在于：所述第一安装座(11)和第二安装座(12)连成的直线与导轨(1)的轴线平行。
4.根据权利要求1所述的测量微位移的装置，其特征在于：所述导轨(1)的数量为二，且平行分布。
5.根据权利要求1所述的测量微位移的装置，其特征在于：所述镜架(4)通过滑块与导轨(1)活动连接。
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