[发明专利]微电极系统及其制备方法、电化学传感器有效
| 申请号： | 201511021604.5 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105651837B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋莉娟;魏清泉;刘文文;李钊;俞育德 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了三种微电极阵列结构的微电极系统，分别是一种二维叉指结构、一种螺旋叉指结构和一种螺旋交叉叉指结构的微电极系统、电化学传感器及其制备方法，以提供连续的电场分布，提高响应性能。 | ||
| 搜索关键词： | 微电极 系统 及其 制备 方法 电化学传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微电极系统，其包括：绝缘衬底；绝缘衬底上的螺旋叉指电极，其为第一、第二两个电极，构成一对电极，单个电极为螺旋单侧梳状结构，彼此绝缘，两者相互嵌套；其中，所述的第一电极和第二电极呈三维结构，其宽度和相邻电极之间的间距介于200纳米至20微米之间，高度介于20纳米至1微米之间。
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