[发明专利]微电极系统及其制备方法、电化学传感器有效
| 申请号： | 201511021604.5 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN105651837B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 蒋莉娟;魏清泉;刘文文;李钊;俞育德 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微电极 系统 及其 制备 方法 电化学传感器 | ||
1.一种微电极系统，其包括：绝缘衬底；绝缘衬底上的螺旋叉指电极，其为第一、第二两个电极，构成一对电极，单个电极为螺旋单侧梳状结构，彼此绝缘，两者相互嵌套；其中，所述的第一电极和第二电极呈三维结构，其宽度和相邻电极之间的间距介于200纳米至20微米之间，高度介于20纳米至1微米之间。
2.一种微电极系统，其包括：绝缘衬底；绝缘衬底上的螺旋交叉叉指电极，其为第一、第二两个电极，构成一对电极，单个电极为螺旋双侧梳状结构，彼此绝缘，两者相互嵌套；其中，所述的第一电极和第二电极呈三维结构，其宽度和相邻电极之间的间距介于200纳米至20微米之间，高度介于20纳米至1微米之间。
3.根据权利要求1或2所述的微电极系统，其特征在于，所述第一、第二电极均延伸至连接的接线端，该接线端用于与外部检测设备的连接。
4.根据权利要求1所述的微电极系统，其特征在于，第一、第二电极为渐开线螺旋单侧梳状结构。
5.根据权利要求2所述的微电极系统，其特征在于，第一、第二电极为渐开线螺旋双侧梳状结构。
6.根据权利要求1或2所述的微电极系统，其特征在于，所述的绝缘衬底为二氧化硅层，该二氧化硅层的厚度介于1微米至200微米。
7.根据权利要求1或2所述的微电极系统，其特征在于，所述的第一、第二电极的材料为金属敏感材料，该金属敏感材料为金、铂或银。
8.根据权利要求1或2所述的微电极系统，其特征在于，所述的绝缘衬底为石英、玻璃或者经过绝缘处理的硅衬底。
9.一种电化学传感器，其特征在于，该电化学传感器包括权利要求1至8任一项所述的微电极系统。
10.一种制备微电极系统的方法，包括步骤：
在洁净的绝缘衬底上旋涂光刻胶；
对所旋涂的光刻胶进行光刻，露出微电极图案；
利用溅射或者蒸镀的方法，在绝缘衬底上形成如权利要求1至8中任一项所述的微电极系统的微电极图案；
去除剩余的光刻胶。
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