[发明专利]具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法有效
| 申请号： | 201511020165.6 | 申请日： | 2015-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105568238B | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;杨勇;王芸;徐根保;李刚;曹欣;姚婷婷;蒋继文;张宽翔;金克武 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/02;F24S70/225 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
一种具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法，包括如下步骤：(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片进行喷淋(2)清洗金属基片，后用高压N |
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| 搜索关键词： | 具有 太阳能 选择性 吸收 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有太阳能选择性吸收薄膜膜系的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)采用氢氟酸和TMAH混合后的复合溶液对金属基片进行喷淋；(2)清洗金属基片，后用高压N2吹干；并且(3)采用磁控溅射技术在所述金属基片表面微结构上沉积的TiN高金属填充因子层、TiNxOy低金属填充因子层、TiO2、AlN和SiO2组成的减反层，从而得到太阳能选择性吸收膜系。
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