[发明专利]一种硬脆材料的激光钻孔装置及钻孔方法在审
| 申请号： | 201511017024.9 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105397313A | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | 朱文宇;赵华龙;赵卫;杨小君;康伟;陈俊威 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;B23K26/40;B23K26/064;B23K26/082 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 郝明琴 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硬脆材料的激光钻孔装置，所述激光器出射的激光光束入射进入所述扩束器，经所述扩束器后的激光光束形成扩束光束，所述扩束光束入射进入所述λ/4玻片形成圆偏振光，所述圆偏振光经所述反射镜进入所述光束扫描系统，经所述光束扫描系统后的圆偏振光沿预先设定轨迹传输，并聚焦于所述定位平台上的载硬脆材料上，从而实现了对硬脆材料激光钻孔的精确加工，提高了加工精度。另外，本发明还提供了一种硬脆材料的激光钻孔方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 材料 激光 钻孔 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种硬脆材料的激光钻孔装置，所述激光钻孔装置安装于机床平台上，其特征在于，所述激光钻孔装置包括激光器、沿所述激光器出射的激光光束依次设置的扩束器、λ/4玻片、反射镜、光束扫描系统，承载硬脆材料的定位平台以及与所述激光器、扩束器、λ/4玻片、反射镜、光束扫描系统，定位平台均信号连接的控制单元；所述激光器出射的激光光束入射进入所述扩束器，经所述扩束器后的激光光束形成扩束光束，所述扩束光束入射进入所述λ/4玻片形成圆偏振光，所述圆偏振光经所述反射镜进入所述光束扫描系统，经所述光束扫描系统后的圆偏振光沿预先设定轨迹传输，并聚焦于所述定位平台上的载硬脆材料上。
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